二氯硅烷分析用氦离子色谱仪

二氯硅烷分析用氦离子色谱仪

品牌:华爱
产地:上海
型号:GC9560

400-616-7676转1353

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核心参数

仪器种类:实验室气相色谱仪
适用领域:高纯气体分析专用
控制温度范围:0-400
升温速度:0-40℃/Min

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核心参数

仪器种类

实验室气相色谱仪

适用领域

高纯气体分析专用

控制温度范围

0-400

升温速度

0-40℃/Min

冷却速度

350-50

载气流量范围及控制

0-800ml/min

载气压力范围及控制

0-0.5MPa

进样口最高使用温度

400℃

进样口压力设定范围

0-0.5MPa

进样口总流量设定范围

0-800ml/min

仪器介绍

       仪器配备高灵敏的氦离子化检测器,采用华爱公司的中心切割技术,进样阀均带有吹扫保护气路;整机采用多柱箱设计,并配备进样压力自动校正系统

      二氯硅烷氦离子色谱仪仪器配备高灵敏的氦离子化检测器,采用华爱公司的中心切割技术,进样阀均带有吹扫保护气路;整机采用多柱箱设计,并配备进样压力自动校正系统,不同底气的样品的进样量。产品先后荣获上海市成果转化A级项目、上海市重点新产品、上海市火炬计划和2009科学仪器产品等称号。


                                              项目名称指标
三氯氢硅(SiHCl3 )含量(体积分数)/l0-6                                                                                                  ≤        10
(一氯硅烷+氯化氢)含量(SiH3Cl+HCl)含量”,以氯化氢计(体积分数)/l0-6                                            ≤50
氮(N2)含量(体积分数)/l0-6                                                                                                        ≤1
(氧+氩)(O2+Ar)含量(体积分数)/l0-6                                                                                          ≤1
一氧化碳(CO)含量(体积分数)/l0-6                                                                                             ≤1
氢(H2)含量(体积分数)/l0-6                                                                                                      ≤10
二氧化碳(CO2)含量(体积分数)/l0-6                                                                                           ≤1
总烃(THC)含量,以甲烷(CH4)计(体积分数)/l0-6                                                                      ≤1
金属元素及其他元素含量(硼+铝)(B+Al)含量/(μg/kg)                    ≤0.1
(磷+砷)(P+As)含量/(μg/kg)                   ≤0.3
镓(Ga)含量/(μg/kg)                                   ≤0.1
锑(Sb)含量/(μg/kg)                                   ≤0.1
铟(In)含量/(μg/kg)                                    ≤0.1
钙(Ca)含量/(μg/kg)                                   ≤1
铬(Cr)含量/(μg/kg)                                   ≤1
铁(Fe)含量/(μg/kg)                                    ≤5
钾(K)含量/(μg/kg)                                     ≤1
钠(Na)含量/(μg/kg)                                    ≤0.2
镍(Ni)含量/(μg/kg)                                    ≤1
钼(Mo)含量/(μg/kg)                                   ≤0.1
锰(Mn) 含量/(μg/kg)                                  ≤0.2
铜(Cu)含量/(μg/kg)                                   ≤0.2
镉(Cd) 含量/(μg/kg)                                  ≤0.5
钴(Co)含量/(μg/kg)                                   ≤0.5
锌(Zn)含量/(μg/kg)                                   ≤0.1

 

 


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